TX1 800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进  

IMPROVEMENT IN COOLING SYSTEM OF TX1800 MAGNETRON FILM PLATING MACHINE

作　　者：关亚兰[1] 崔秀清[2] 刁训刚[1] 王涛[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京100083 [2]中国运载火箭技术研究院五一九厂,山西长治046012

出　　处：《真空与低温》2012年第3期142-145,共4页Vacuum and Cryogenics

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目(90305026);中国工程物理研究院双百人才基金资助项目(2005R0504)

摘　　要：以北京天瑞星公司生产的大型TX1 800商用磁控溅射镀膜机为例,分析了磁控溅射镀膜机靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在高温下气化蒸发带走基材热量,达到材料降温的目的。通过层板间的特殊结构实现对流体流量、流速等的控制,实现预想的冷却效果。In this paper,structure of the target and corresponding cooling-system,based on Beijing Tian Rui Xing company＇s TX1800 magnetron sputtering film plating machine, are analyzed briefly. Then the conception of platelet ＆transpiration cool- ing which is used extensively in field of a-erospace is introduced briefly, on this basis, the cooling-system is redesigned, propo- sing a new improvement thought.

关 键 词：靶 层板 发汗冷却 

分 类 号：TH128[机械工程—机械设计及理论]