三维表面粗糙度测量仪中应用的气浮工作台  

Air Flotation Table of Three-dimensional Surface Roughness Measuring Instrument

作　　者：贾晨辉[1] 牛童[1] 崔凤奎[1] 

机构地区：[1]河南科技大学机电工程学院,河南洛阳471003

出　　处：《液压与气动》2012年第10期5-7,共3页Chinese Hydraulics & Pneumatics

基　　金：河南省科技攻关重点项目"高精度三维粗糙度测量仪"(092102210033)

摘　　要：测量平台运动精度是三维表面粗糙度测量仪中的关键技术。该文讨论了气浮工作台的设计方法,分析了承载能力和气膜刚度,推算出相应的计算公式,研制出能满足三维表面粗糙度测量仪精度要求的气浮工作台,具有十分重要的现实意义和可观的经济效益。

关 键 词：三维表面 粗糙度测量 气浮工作台 

分 类 号：TH138[机械工程—机械制造及自动化]