气浮工作台

作品数:19被引量:45H指数:4
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基于方箱的气浮工作台控制系统稳定性分析被引量:3
《制造技术与机床》2022年第8期178-184,共7页朱思达 卢志伟 刘波 张君安 
陕西省科技厅重点研发计划项目(2022GY-215)。
为了进一步开展对气浮静压导轨支承与直线电机驱动相互匹配稳定性研究,设计并研制了一种基于方箱的二维气浮工作台。二维气浮工作台以方箱为机构设计和装配基准可以有效提高其承载性能和运动精度,但由于整个气浮工作台摩擦阻尼小、负载...
关键词:方箱 气浮工作台 控制系统 稳定性 
整体闭式与开式气浮导轨静态性能对比分析被引量:4
《液压与气动》2021年第6期84-90,共7页鹿菡 张君安 冯凌华 卢志伟 刘波 
国家自然科学基金(51705390);陕西省教育厅科研计划项目(20JC015,20JK0681);西安工业大学大学生科技创新基金(S201910702061)。
静压气浮导轨是精密气浮工作台的重要组成部件,其承载能力和刚度直接影响了工作台的平稳性以及所加工零件的精度。针对所设计的精密高刚度二维气浮工作台,提出采用有限差分的数值计算方法,在双边间隙总和与供气压力相同的条件下,对整体...
关键词:气浮工作台 整体闭式气浮导轨 开式气浮导轨 刚度 
精密高刚度二维气浮工作台的设计与分析被引量:6
《液压与气动》2020年第3期96-101,共6页黄鹏 卢志伟 刘波 张君安 
陕西省教育厅重点实验室基金(19JS033);西安市未央区科技计划基金(201838)
目前精密二维气浮工作台的研究,存在着二维气浮工作台的刚度和承载力较小的问题,设计了一种以精密方箱为基准的精密高刚度二维气浮工作台。该气浮工作台采用整体式气浮导轨副设计,全部构件以精密方箱为位置基准,用精密方箱自身的高平面...
关键词:闭式平面气浮导轨 二维气浮工作台 精密 高刚度 
玻璃基板光学检测仪器气浮工作台特性仿真研究
《现代制造工程》2018年第11期107-111,共5页权露 陶晓杰 张群 张蓝 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ220749)
针对2×2对称毛细管节流气浮工作台模型,运用Fluent数值仿真软件分析得到气膜区压力及速度分布、质量流量和承载力等特性,分析毛细管节流器间距、结构参数和供气压力对气浮工作台特性的影响。结果表明:不同节流器间距分布对质量流量影...
关键词:气浮工作台 毛细管节流 静特性 Fluent数值仿真 
滑移及黏度对超精密气浮工作台性能影响研究被引量:2
《西安交通大学学报》2017年第11期63-70,143,共9页陈东菊 董丽华 潘日 范晋伟 
国家自然科学基金资助项目(51475010;51105005)
针对超精密气浮工作台内部微小间隙气体的性能展开研究,实现了微尺度下气体滑移及黏度对气浮工作台性能影响的分析。基于气体润滑理论和微尺度下气体滑移和黏度的研究,实现了气浮工作台内气膜流态模型的修正,利用有限差分法给出了雷诺...
关键词:气浮工作台 滑移 黏度 承载力 刚度 
精密气浮工作台动态特性仿真与优化被引量:6
《机床与液压》2017年第2期20-24,共5页文明 姚勇 何康昊 陈华明 杨雷 邓立 李佩龙 姜飞 
为提高精密气浮工作台的工作性能,在分析气浮轴承承载特性的基础上,对气浮工作台进行多体动力学建模与仿真。参数化多体动力学模型,创建模型的设计变量与目标变量,编写目标变量评价程序,使用Isight集成了优化仿真模型,优化了设计变量,...
关键词:精密气浮工作台 动态特性 参数优化 
旋转超声波钻削用气浮工作台的设计与实验被引量:1
《机械设计与制造》2016年第9期108-110,共3页刘礼平 林彬 房丰洲 
国家高技术研究发展计划(863计划)(2009AA044204)
旋转超声波加工是一种精密、有效的硬脆材料加工方法,为了获得最佳加工质量,旋转超声波钻削加工中,恒定、灵敏地控制工件与工具之间的静载荷至关重要。设计了一种新型的气浮工作台,用于恒定、灵敏地控制旋转超声波加工中的力。并且对比...
关键词:工程陶瓷 气浮工作台 恒速加工 恒力加工 
闭式T形工作台结合面结构对气浮导轨性能的影响被引量:3
《机械设计与制造》2015年第7期211-214,共4页莫德云 马平 弓满锋 
国家自然科学基金项目(50775043);广东省自然科学基金项目(S2013010013385);岭南师范学院校级青年项目资助(11701)
闭式T形工作台在加工过程中选择不同的工艺方法导致结合面结构变化对气浮导轨性能的影响是不容忽视的。通过建立一体式和组合式两种结构的气浮导轨气膜面有限元模型,对其压力场分布、承载力、刚度和耗气量进行分析、对比。通过分析发现...
关键词:气浮工作台 有限元 承载力 刚度 耗气量 
双闭式气体静压导轨超精密工作台振动特性分析被引量:3
《实验室研究与探索》2015年第5期42-44,共3页蔡黎明 钟君 成贤锴 刘斌 于涌 
为获得超精密工作台系统特性,针对双闭式气体静压导轨超精密工作台的振动特性展开研究。建立了工作台系统的动力学模型,推导了系统振动微分方程。通过实验得出了在实际工况中较为准确的线性弹簧刚度,用线性弹簧模拟气体静压腔,简化了系...
关键词:气浮工作台 振动 闭式 动力学 仿真 
气浮工作台性能数值模拟和实验分析
《机电工程技术》2013年第1期68-71,共4页牛童 王基威 
河南省科技攻关重点项目(编号:092102210033)
运用计算流体力学FLUENT软件数值模拟,分析研究影响气浮工作台静态性能有关因素,并得到相应的变化曲线。进行气体静压实验,从实验结果可知,实验与数值模拟计算的结果有着较好的一致性,证明了该方法在气体润滑领域应用的可行性,也为进一...
关键词:气浮工作台 FLUENT 实验 
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