电子束物镜分析  

作　　者：方一兵[1] 赵春民[1] 尹明[1] 

机构地区：[1]山东工业大学自动化工程系,济南250061

出　　处：《山东工业大学学报》2000年第1期98-100,共3页

关 键 词：电子束物镜 物镜电源 像差 

分 类 号：TH744[机械工程—光学工程]