赵春民

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：山东工业大学电力工程学院自动化系更多>>
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电子束物镜分析被引量：1
《山东工业大学学报》2000年第1期98-100,共3页方一兵 赵春民 尹明 
关键词：电子束物镜 物镜电源 像差 
一种高精度测量束斑电流的新方法
《微细加工技术》1999年第2期8-11,共4页魏守水 陈振生 赵春民 张玉林 
提出了一种高精度测量电子束曝光机束流的新方法。并给出测量电路，该电路在未加屏蔽的情况下，可达９０ｄＢ的共模抑制比。
关键词：电子束曝光机 A/D转换 束斑电流 测量 
电子束曝光机扫描场非正交性畸变校正被引量：1
《微细加工技术》1995年第2期6-10,共5页张明 张玉林 王国瑕 赵春民 
本文介绍了我校研制的矢量扫描电子束曝光机中，扫描场非正交性畸变的校正情况，该机器的偏转系统为内透镜双磁偏转方式。
关键词：电子束曝光机 偏转系统 畸变校正 
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