微型FBAR滤波器芯片  

作　　者：李丽[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所

出　　处：《半导体技术》2013年第1期79-79,共1页Semiconductor Technology

摘　　要：薄膜体声波谐振器（FBAR）技术，是一种基于声体波谐振的新技术。当一交变射频电压施加于两电极之间时，在压电薄膜内形成交变电场。通过压电薄膜的逆压电效应产生的机械形变激发体声波、在两电极问来回反射，当体声波的传播为半波长或半波长的奇数倍时发生谐振。和声表面波滤波器相比，FBAR滤波器具有体积小、带外抑制高、插入损耗小以及可集成于微波单片电路中的优点。

关 键 词：声表面波滤波器 FBAR 薄膜体声波谐振器 芯片 微型 压电薄膜 逆压电效应 交变电场 

分 类 号：TN65[电子电信—电路与系统]