FBAR

作品数：104被引量：120H指数：5
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高阻带抑制FBAR滤波器
《压电与声光》2025年第1期24-27,共4页唐小龙 陈艳兵 金中 吴高米 张必壮 蒋平英 
采用一维Mason模型,研究了薄膜体声波谐振器(FBAR)压电层/电极膜厚比对有效机电耦合系数的影响。随着压电层膜厚占比的增加,谐振器有效机电耦合系数逐渐增大,通过膜厚优化和流片实现了高频FBAR谐振器的研制。在采用梯形电路结构的基础上...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 滤波器 高阻带抑制 Mason模型 高频 
ICP刻蚀Mo侧壁角度及刻蚀速率的研究
《压电与声光》2025年第1期59-62,共4页田本朗 梁柳洪 何成勇 罗淦 郭耀祖 米佳 
采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8°...
关键词：电感耦合等离子体(ICP) MO 薄膜体声波谐振器(FBAR) 侧壁角度 刻蚀速率 
一种小型化高性能薄膜体声波双工器设计方法
《压电与声光》2024年第5期655-659,共5页张智欣 陈长娥 韩茜茜 史向龙 魏家贵 苏波 范佰杰 林树超 
针对射频前端对双工器小型化的使用需求,采用拓扑结构设计、匹配设计、版图设计和封装设计等设计方法,研制出一款小型化高性能薄膜体声波(FBAR)双工器,其接收端频率为1805~1880 MHz,发射端频率为1710~1785 MHz,通带内整体插入损耗≤3.0 ...
关键词：高性能薄膜体声波(FBAR) 双工器 小型化 高隔离 低插损 
压电AlN MEMS的新进展(续)被引量：1
《微纳电子技术》2024年第5期1-31,共31页赵正平 
Si基微电子机械系统(MEMS)经过三十余年的发展已进入智能微系统的发展阶段,已成为当今MEMS技术创新发展的主流。当今半导体材料技术的科研已进入超宽禁带半导体的探索开发阶段,超宽禁带半导体AlN不但在功率电子学有较好的前景,而且AlN...
关键词：微电子机械系统(MEMS) ALN 掺钪AlN薄膜 薄膜体声波谐振器(FBAR) 轮廓模式谐振器 压电微机械超声换能器(PMUT) 
杂模抑制薄膜体声波谐振器的仿真分析
《压电与声光》2024年第2期159-163,共5页罗恩雄 张必壮 吴坤 马晋毅 李思忍 
该文研究了电极边界阶梯结构对薄膜体声波谐振器(FBAR)杂波的影响。采用有限元仿真法讨论了阶梯结构宽度尺寸对杂波的抑制效果,结合振型分析该结构能抑制声波能量的泄露,提高器件品质因数。为了进一步验证仿真结果,实验制备了FBAR器件...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 阶梯结构 杂模抑制 有限元 
压电AlN MEMS的新进展
《微纳电子技术》2024年第4期1-25,共25页赵正平 
Si基微电子机械系统(MEMS)经过三十余年的发展已进入智能微系统的发展阶段,已成为当今MEMS技术创新发展的主流。当今半导体材料技术的科研已进入超宽禁带半导体的探索开发阶段,超宽禁带半导体AlN不但在功率电子学有较好的前景,而且AlN...
关键词：微电子机械系统(MEMS) ALN 掺钪AlN薄膜 薄膜体声波谐振器(FBAR) 轮廓模式谐振器 压电微机械超声换能器(PMUT) 
一种带有尾电流源反馈的FBAR振荡器
《微电子学与计算机》2024年第1期113-117,共5页丁增辉 黄继伟 
福建省中央引导地方科技发展专项(2020L3021);福建省自然科学基金(2020J01467)。
为改善振荡器相位噪声性能,设计了一种带有尾电流源反馈的薄膜体声波谐振器(FBAR)振荡器。研究表明,尾电流源晶体管闪烁噪声和谐振回路是振荡器相位噪声的主要来源。为了降低尾电流源晶体管闪烁噪声对振荡器相位噪声的影响,采用两组对...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 振荡器 相位噪声 尾电流源反馈 
FBAR电极和压电薄膜制备工艺研究
《半导体技术》2023年第12期1103-1107,共5页高渊 宋洁晶 李亮 赵洋 吕鑫 冀子武 
薄膜体声波谐振器(FBAR)制备工艺中,压电薄膜及金属电极的质量和形貌直接影响了器件的性能如品质因数、插入损耗及带宽等。研究了决定FBAR性能的关键工艺,包括Mo电极的刻蚀、AlN压电薄膜的溅射和腐蚀,从而实现高质量电极及压电薄膜结构...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 溅射 刻蚀 选择比 腐蚀 
基于掺钪氮化铝FBAR的滤波器设计研究
《固体电子学研究与进展》2023年第6期503-509,共7页黄靓文 吕世涛 孙海燕 赵继聪 陶玉娟 
国家自然科学基金资助项目(61974077)。
设计了一款工作在2.11~2.18 GHz频段的薄膜体声波滤波器。基于有限元仿真研究了掺钪氮化铝(AlScN)的薄膜体声波谐振器,并分析了掺钪对谐振器性能的影响。提出了边缘凸起结构的优化设计方案,改善了谐振器的有效机电耦合系数和品质因数。...
关键词：薄膜体声波谐振器 掺钪氮化铝 MBVD等效电学模型 多层螺旋电感 
高性能温补型薄膜体声波滤波器的研制
《压电与声光》2023年第6期795-799,共5页刘娅 陈凤 黄晶 黄龙 吕峻豪 孙明宝 马晋毅 
该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤...
关键词：温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR) 滤波器 温补层 频率温度系数(TCF) 
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