单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析  

Stochastic Petri Nets Model and Perfomance Analysis of Single-blade Cluster Tools

作　　者：郑秀红[1] 胡静涛[2] 

机构地区：[1]沈阳化工大学计算机科学与技术学院,辽宁沈阳110142 [2]中国科学院沈阳自动化研究所信息服务与智能控制研究室,辽宁沈阳110016

出　　处：《沈阳化工大学学报》2012年第4期360-364,369,共6页Journal of Shenyang University of Chemical Technology

基　　金：国家科技重大专项(2009ZX02008-003);973计划前期研究专项课题(2010CB334705)

摘　　要：针对因集束型装备配置非常灵活,运行模式多样造成的对装备性能分析困难的问题,提出一种用随机Petri网对集束型装备的运行过程进行建模,分析模型,计算装备性能的方法.利用工具Visual Object Net++验证模型的可达性,活性,有界性.采用马尔可夫过程方法分析模型和计算性能.结果表明:该模型不仅可表现集束型装备的并发性,而且能表示出装备运转活动持续的随机的时间特性.与赋时Petri网模型相比,该方法更能反映装备实际加工过程.The cluster tools have many configure mode and operation processes,which result in the diffi-culties in equipment performance analysis.The paper presents a Stochastic Petri nets approach to modeling and analysis of cluster tool.The reachability,boundedness and liveness of model are verified by Visual Object Net ＋＋ tool.The performance of the cluster tool is computed by the Markov process method.It in-dicates that this model not only represents the concurrent activity of the cluster tool,but also represents the stochastic occurrence times of all activity,compared with timed Petri net.

关 键 词：随机PETRI网 集束型装备 马尔可夫过程 吞吐量 

分 类 号：TP202[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]