集束型装备

作品数：19被引量：19H指数：2
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：李林瑛胡静涛郑秀红卢睿臧洁更多>>
相关机构：大连外国语大学中国科学院辽宁警察学院中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《半导体技术》《控制与决策》《信息与控制》《计算机集成制造系统》更多>>
相关基金：辽宁省教育厅高等学校科学研究项目沈阳市科技计划项目国家自然科学基金辽宁省高等学校优秀人才支持计划更多>>
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求解混流集束型装备调度问题的差分进化算法
《数学的实践与认识》2020年第22期167-178,共12页李林瑛 卢睿 
国家社会科学基金一般项目(15BYY028);2017年大连外国语大学科研基金(2017XTZD04);辽宁省自然科学基金(20180550284);大连外国语大学研究创新团队项目“计算语言学与人工智能创新团队”(2016CXTD06)。
针对带滞留时间约束的混流集束型晶圆制造装备调度问题,为了优化晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,提出了改进差分进化算法.通过定义机械手搬运作业,将双排序问题转换为单排序问题,并将其应有到染色体编码中;设计基于禁止区间法的启发...
关键词：集束型装备 晶圆制造 差分进化算法 混流加工 滞留时间约束 
集束型装备生产线离散事件仿真方法研究被引量：1
《集成电路应用》2019年第6期74-75,共2页许壮源 范文慧 林廷宇 肖荧荧 
复杂产品智能制造系统技术国家重点实验室开放研究基金课题(QYYE1601)
集束型装备是集成电路的生产线上的标准装备,集束型装备一般是3部分来组成:加工晶圆的加工模块、晶圆机械手、输入/输出晶圆的晶圆承载室。集束型装备计算机仿真方法是预测装备产能和辅助装备设计的有效方法之一。利用商用Anylogic软件...
关键词：集束型装备 离散事件 仿真 ANYLOGIC 
求解集束型装备调度问题的改进遗传算法被引量：2
《数学的实践与认识》2019年第6期166-175,共10页李林瑛 卢睿 
辽宁省科学研究青年项目(LQ201787002);2017年大连外国语大学科研基金项目(2017XJZD04);辽宁省自然科学基金项目(20180550284)
针对半导体制造中的有滞留时间约束集束型装备调度问题,以最小化生产周期为目标,建立问题的数学模型,提出基于机械手搬运作业顺序编码的改进遗传算法.设计基于禁止区间法的启发式构造算法以生成初始种群,避免了不可行染色体的产生;通过...
关键词：遗传算法 集束型装备 半导体制造 滞留时间约束 
基于分支定界算法的集束型装备调度研究
《电脑知识与技术》2018年第3X期242-243,共2页罗钧元 任秀蕊 徐占鑫 吕博凯 常馨月 李林瑛 
大连外国语大学2017年大学生创新创业训练计划项目(201710172000010)
考虑有滞留时间约束的集束型晶圆制造装备调度问题,其调度要同时考虑晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,给出了基于图论的分支定界算法,并采用最长路径方法确定调度目标。仿真实验结果验证了算法的有效性。
关键词：集束型装备 分支定界算法 晶圆制造 
有滞留时间约束的两集束型装备调度模型
《数学的实践与认识》2017年第5期179-189,共11页李林瑛 卢睿 邹咏楠 
辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137;L2014011;L2014455;L2014456);辽宁省大学生创新创业训练计划项目(201610172000015)
针对有滞留时间约束和并行加工的两集束型装备调度问题,分别推导了三类不等式约束条件,包括加工模块处于加工和空闲两种状态下的滞留时间约束、任意单个和两个搬运作业情况下的机械手搬运能力约束,以及缓冲模块能力约束,从理论上证明了...
关键词：两集束型装备 半导体制造 调度模型 滞留时间约束 并行加工模块 
有滞留时间约束的集束型装备在线调度方法被引量：1
《系统仿真学报》2017年第2期337-345,共9页李林瑛 卢睿 李绍华 景雨 刁建华 
国家自然科学基金(61501082);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137;L2014011;L2014455;L2014456)
针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了客户紧急订单、返工、新产品试制等临时晶圆到达时的在线调度问题,提出了不改变已有晶圆调度的前提下,利用资源空闲时间区间的两层在线调度方法。外层算法通过改进量子进化算法用以...
关键词：在线调度 量子进化算法 集束型装备 半导体制造 滞留时间约束 
基于改进遗传算法的集束型装备调度研究被引量：2
《电脑知识与技术》2017年第2期263-264,共2页邹咏楠 罗钧元 李林瑛 
辽宁省教育厅科学研究一般项目（L2014456）; 辽宁省大学生创新创业训练计划项目（201610172000015）
考虑机械手在输入装载室、加工模块和输出装载室三者间搬运时间和空载时间下,求解半导体制造中具有滞留时间约束的集束型装备调度问题,提出基于机械手搬运作业顺序编码的改进遗传算法,包括种群初始化、选择操作、变异操作和适应度函数...
关键词：遗传算法 集束型装备 半导体制造 滞留时间约束 
有滞留时间约束的单臂集束型装备调度研究
《系统仿真学报》2016年第8期1776-1782,共7页卢睿 李林瑛 
辽宁省教育厅科学研究(L2014456)
考虑有滞留时间约束的单臂集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括单臂机械手和加工模块时序约束关系的混合整数规划模型,并从理论上证明了并行模块等价加工时间的合理性。在此模型基础上,分析了单臂机械手和加工模块的周期性加...
关键词：半导体制造 集束型装备 单臂机械手 可调度性分析 
加工多类型晶圆的集束型装备调度模型被引量：3
《数学的实践与认识》2016年第16期152-161,共10页李林瑛 卢睿 臧洁 
国家自然科学基金(61501082);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137;L2014011;L2014455;L2014456)
研究了加工多类型晶圆和有滞留时间约束的集束型装备调度问题,其中包括晶圆排序和双臂机械手搬运作业排序两类问题.分别推导了三类不等式约束条件,包括加工模块处于加工和空闲两种状态下的滞留时间约束、任意单个和两个搬运作业情况下...
关键词：集束型装备 半导体制造 调度模型 多类型晶圆加工 滞留时间约束 
集束型半导体装备调度系统架构模型被引量：2
《制造业自动化》2015年第2期103-107,共5页卢睿 
辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L20144456)
在对集束型半导体装备控制软件(Cluster Tool Controller,CTC)架构及SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)标准研究的基础上,提出了基于SEMI标准的CTC调度系统架构模型,包括用户界面层、作业与调度管理层、模块管理...
关键词：半导体制造 集束型装备控制软件 调度系统 模块通信标准 
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