基于改进遗传算法的集束型装备调度研究  

Improved Genetic Algorithm for Cluster Tool Scheduling Problem

作　　者：邹咏楠 罗钧元 李林瑛 ZHOU Yong-nan, LUO Jun-yuan, LI Lin-ying （School of Software Dalian University of Foreign Languages, Liaoning 116044, China）

机构地区：大连外国语大学软件学院,辽宁大连116044

出　　处：《电脑知识与技术》2017年第2期263-264,共2页Computer Knowledge and Technology

基　　金：辽宁省教育厅科学研究一般项目（L2014456）; 辽宁省大学生创新创业训练计划项目（201610172000015）

摘　　要：考虑机械手在输入装载室、加工模块和输出装载室三者间搬运时间和空载时间下,求解半导体制造中具有滞留时间约束的集束型装备调度问题,提出基于机械手搬运作业顺序编码的改进遗传算法,包括种群初始化、选择操作、变异操作和适应度函数计算等。仿真实验结果验证了提出算法的有效性。Considering the robot transport time among the loadlock and the processing modules,for cluster tools with residency time constraints in semiconductor manufactory,this paper studied improved genetic algorithm based on single-arm robot move sequence coding,including population initialization,selection operation,mutation operation and fitness function calculation. Experimental examples showed that the proposed algorithm is effective.

关 键 词：遗传算法 集束型装备 半导体制造 滞留时间约束 

分 类 号：TP301[自动化与计算机技术—计算机系统结构;自动化与计算机技术—计算机科学与技术]