集束型半导体装备调度系统架构模型  

Framework model of scheduling system of cluster tool controller in semiconductor manufactory

作　　者：卢睿 

机构地区：[1]辽宁警察学院公安信息系,大连116036

出　　处：《制造业自动化》2015年第2期103-107,共5页Manufacturing Automation

基　　金：辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L20144456)

摘　　要：在对集束型半导体装备控制软件(Cluster Tool Controller,CTC)架构及SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)标准研究的基础上,提出了基于SEMI标准的CTC调度系统架构模型,包括用户界面层、作业与调度管理层、模块管理层、数据通信协议层和模块控制器层。作业与调度管理层根据加工配方和晶圆流模式产生控制命令,并且给出了加工模块故障的异常处理流程;在模块管理层,给出了符合SEMI CTMC(Cluster Tool Module Communications)标准的具体作业分解;数据通信协议层遵循SECS-I、HSMS和SECS-I三个标准;模块控制器层用状态图表示控制器接受到命令后的状态变化。最后通过分析调度系统的测试和验证过程,利用了"虚拟控制"的思想,对调度系统框架模型进行了验证。

关 键 词：半导体制造 集束型装备控制软件 调度系统 模块通信标准 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]