多分辨率小波在非连续涂层测厚的应用  

Multi-resolution Wavelet in Discontinuous Coating Thickness Measurement

作　　者：陈功[1] 朱锡芳[1] 许清泉[1] 徐安成[1] 杨辉[1] 

机构地区：[1]常州工学院电子信息与电气工程学院,江苏常州213022

出　　处：《控制工程》2013年第1期175-178,共4页Control Engineering of China

基　　金：2011年常州市科技计划项目(CE20110099)

摘　　要：通过构建动态扫描系统,控制C型移动机构的运动,使激光传感器完成对锂电池薄膜涂层的动态扫描。其中激光传感器采用三角位移法实现锂电池膜厚的在线测量。在非连续性薄膜动态测厚系统中,对于外界振动所引起的动态误差,采用阈值判断和多分辨率小波算法实现动态误差的去噪。通过分析扫描系统的固有频率、振动频率以及研究不同阈值在各种扫描状态时的测量结果,表明上下阈值在160-210μm时既能达到较好的检测精度且不会出现厚度超差的漏报。混合去噪的实验结果表明:系统的动态扫描检测精度(以均方差衡量)可以达到2-3μm,相比于传统时域、频域以及单一的多分辨率小波去噪方法,该方法检测精度高,鲁棒性好且适用于涂膜间距较小且非连续涂层的厚度测量。For building discontinuous dynamic scanning of film thickness of lithium battery systems, dynamic scanning of laser sensors is realized based on threshold judgment and multi-resolution wavelet algorithm for dynamic noise reduction. Through the analysis of scanning the system inherent frequency, vibration frequency and threshold in various scanning mode measurement results, indicate that upper and lower threshold in 160-210~m can reach better accuracy. The results show that dynamic scanning detection accuracy （MSE） reaches 2-31μm, compared with the traditional time domain, frequency domain and unique multi-scale wavelet de-noising 特 technolo- gy, the method applies to different lengths and discontinuous of coating thickness measurement.

关 键 词：非连续 膜厚 阈值 多分辨率小波 

分 类 号：TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]