基于ANSYS的受变化静电力微结构的动态特性分析  

作　　者：张曰浩[1] 吴永根[2] 胡毓忠 

机构地区：[1]烟台大学机电工程学院,山东烟台264005 [2]烟台大学工程实训中心,山东烟台264005 [3]国立宜兰大学机械与机电工程学系

出　　处：《机电信息》2013年第3期106-107,共2页

摘　　要：介绍了利用ANSYS对受静电力之微小金属梁进行动态分析以了解其动态特性。金属梁所受到的变化静电力是由对分布于其下方的几个电极依次施加交流电压而感应产生的。对整个系统进行静电结构耦合分析,由分析结果可知金属梁变形的幅度和频率与交流电频率ω和施加交流电频率Ω有密切关系,具有一定的指导意义。

关 键 词：静电结构耦合 ANSYS MEMS 

分 类 号：TP211.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]