CBE设备的控制系统  

作　　者：韩汝水[1] 付首清 张利强[2] 余文斌[2] 

机构地区：[1]中国科学院半导体所,北京100083 [2]中国科学院沈阳科仪厂,沈阳110003

出　　处：《半导体情报》1991年第6期82-84,共3页Semiconductor Information

摘　　要：化学束外延(CBE)是半导体超薄层材料生长技术的最新发展,它兼有MBE和MOCVD两者的优点。我们研制出了CBE设备。本文给出了CBE设备的控制系统的硬、软件设计。

关 键 词：化学束外延 设备 控制 硬件 软件 

分 类 号：TN304.054[电子电信—物理电子学]