一种估算热导率的方法  被引量:3

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作  者:罗廷礼 蔡云虹 

机构地区:河北省科学院中试工夺

出  处:《人工晶体学报》2000年第3期296-299,共4页Journal of Synthetic Crystals

摘  要:径向热导率是金刚石膜应用中的一项主要技术指标。本文介绍一种通过热导率和X衍射晶面图间相关性估算直流电弧等离子体喷气相沉积金刚石膜径向热导率的方法。该方法需满足的条件为(111)为主的三向系中(220)和(311)的CPS值分别是23~33%和8~15%,或者是在四取向膜中要求(400)的CPS值低于5%。瓮算值的最大偏差为-9.5%和3.5%。当(220)的CPS值高时或(311)的CPS值低时,

关 键 词:金刚石膜 X射线晶体衍射谱 热导率 估算 薄膜 

分 类 号:O484[理学—固体物理] TQ163[理学—物理]

 

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