不同原始电阻率NTDCZSi的退火行为  

作　　者：张维连 

出　　处：《半导体杂志》1991年第3期54-55,28,共3页

关 键 词：半导体器件 NTD CZSI 电阻率 退火 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学]