扫描探针显微技术应用于工业技术领域的几个相关问题  

作　　者：孙涛[1] 赵清亮[1] 董申[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨150001

出　　处：《科技导报》2000年第6期15-18,共4页Science & Technology Review

关 键 词：扫描探针显微技术 工业技术 SPM STM BEFM 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]