TiN/TaN多层膜原子力显微镜图像的多重分形谱  

作　　者：熊刚[1] 孙霞[2] 刘文汉[1] 吴自勤[2] 

机构地区：[1]中国科学技术大学物理系,合肥230026 [2]中国科学技术大学基础物理中心,合肥230026

出　　处：《电子显微学报》2000年第4期437-438,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金资助项目! (195 740 44 )

关 键 词：氮化钛 氮化钽 多层膜 原子力显微镜 多重分形谱 

分 类 号：O484[理学—固体物理]