孙霞

作品数:28被引量:120H指数:6
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供职机构:中国科技大学更多>>
发文主题:多重分形谱电子束光刻二次电子蒙特卡罗模拟原子力显微镜更多>>
发文领域:理学电子电信化学工程机械工程更多>>
发文期刊:《现代科学仪器》《低温物理学报》《现代涂料与涂装》《物理学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金安徽省自然科学基金国家教育部博士点基金安徽省人才开发基金更多>>
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不孕症患者术前状态焦虑与医学应对方式的相关分析被引量:1
《安徽卫生职业技术学院学报》2018年第6期125-126,129,共3页孙霞 
目的:调查不孕症患者术前焦虑状态以及所采取的医学应对方式,分析不同的应对方式与状态焦虑的相关性。方法:选择112例不孕症患者,分析状态焦虑水平和应对方式的影响因素,并分析应对方式与状态焦虑的相关性。结果:112例不孕症患者中,状...
关键词:不孕症 焦虑 医学应对 
投影电子束光刻中电子穿透掩膜的Monte Carlo模拟被引量:5
《物理学报》2006年第11期5803-5809,共7页肖沛 张增明 孙霞 丁泽军 
国家自然科学基金(批准号:10574121;60306006;90406024);安徽省自然科学基金(批准号:05021015);安徽省人才开发基金(批准号:2001Z016)资助的课题.~~
利用基于Mott散射截面和介电函数模型的Monte Carlo方法模拟了电子穿透掩膜的能量损失分布,其计算结果与实验结果符合很好.由此进一步计算了角度限制投影电子束光刻(SCALPEL)掩膜的穿透率和衬度,结果表明:散射体的厚度对衬度的影响较大...
关键词:MONTE CARLO模拟 电子束光刻 掩膜 
俄歇电子像的蒙特卡罗模拟
《现代科学仪器》2006年第z1期12-13,共2页丁泽军 李永钢 李会民 张增明 孙霞 
This work is supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.10574121,10025420 and 90206009).
  Simulation of Auger electron image contrast formation is helpful for analyzing the images in scanning Auger microscopy/microanalysis(SAM),which provides elemental and chemical composition of surface and,thus,appli...
低能电子光刻的蒙特卡罗模拟被引量:1
《现代科学仪器》2006年第z1期14-15,共2页张增明 肖沛 陈套 孙霞 丁泽军 
This work is supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.10574121,90206009and90406024),Natural Science Foundation of Anhui Province of China(Grant No.05021015)and Elitist Foundation of Anhui Province(Granted No.2001Z016).
  Electron beam lithography(EBL)has been playing an important role in the fabrication of large-scale integrated semiconductor devices because of its high resolution.Although high-energy electrons are widely employed...
电子束光刻的邻近效应及其模拟被引量:9
《物理学报》2006年第1期148-154,共7页孙霞 尤四方 肖沛 丁泽军 
国家自然科学基金(批准号:60306006;10025420;90206009)资助的课题~~
用MonteCarlo方法模拟和分析了电子束光刻中限制其分辨率的主要因素———邻近效应的影响.分析了入射电子束的形状、入射电子的能量、衬底材料和厚度对邻近效应大小的影响,并与实验结果进行了比较,发现模拟结果与实验结果符合得很好.分...
关键词:电子束光刻 邻近效应 MONTE Carlo 
热处理条件对MgB_2带材物理性能的影响被引量:1
《低温物理学报》2005年第A02期903-907,共5页浦其荣 许高杰 王关生 刘应玲 丁泽军 孙霞 
国家自然科学基金(No.50306006)资助项目~~
用Mg和B的混合粉体以及用MgB2粉体作为起始材料,不锈钢作为外鞘,分别制备出MgB2超导带材,并通过不同的烧结工艺对MgB2带子进行热处理.系统地对比研究了样品在不同制备条件下的和Jc不同的内在根源,提出制备性能优异的MgB2带材的可能途径.
关键词:不可逆场 临界电流密度 退火 
电子束光刻中邻近效应校正的几种方法被引量:7
《电子显微学报》2005年第5期464-468,共5页肖沛 孙霞 闫继红 丁泽军 
国家自然科学基金资助项目(No.60306006;10025420;90206009);安徽省自然科学基金(No.050460201)~~
本文简要介绍了限制电子束光刻分辨率的主要因素之一—邻近效应的产生机制,列举了校正邻近效应的GHOST法、图形区密集度分布法和掩模图形形状改变法,介绍了每种方法的原理、步骤和效果,比较了它们各自的优缺点。
关键词:电子束光刻 邻近效应 
LaBa_2Cu_(3-x)Zn_xO_y体系的结构和输运性质研究
《低温物理学报》2005年第A01期530-534,共5页浦其荣 陶汝华 许高杰 王关生 张建武 丁泽军 孙霞 
国家自然科学基金(No.60306006)资助项目~~
我们用固相反应法合成了LaBa2Cu3-xZnxOy(0≤x≤1.0)系列样品.X-光衍射分析显示,在整个掺杂区内皆为正交结构,晶格常数a,b和c随掺杂量的增加略有增大.Zn含量的增加使体系正常态的电阻率上升.红外光谱(IR)表明:对于不掺杂的样品,在531cm-...
关键词:Zn掺杂 结构 输运性质 
Mott散射和电子极化术
《物理》2005年第5期381-386,共6页孙霞 丁泽军 肖沛 吴自勤 
国家自然科学基金(批准号:60306006;10025420;90206009)资助项目
文章回顾了Mott散射过程及其物理图像,介绍了Sherman函数的定义、计算和测量,简述了探测自旋极化电子的仪器———Mott电子极化仪的一般设计,列举了获得自由极化电子的几种方法和原理.
关键词:电子极化 散射 自旋极化电子 物理图像 N函数 极化仪 
模拟扫描电镜像衬度的体构件Monte Carlo方法被引量:3
《电子显微学报》2005年第1期50-56,共7页李会民 丁泽军 孙霞 
国家自然科学基金资助项目(No.10025420;No.90206009;No 60306006). ~~
利用MonteCarlo计算方法可以模拟电子束与样品的相互作用过程,从而了解扫描电子显微学中信号的产生机制。本工作中,我们采用体构件法来产生复杂试样的几何构型,利用光线追踪算法求得散射事件间的步长抽样修正。电子散射的物理模型则采用...
关键词:几何构型 电子散射 相互作用 二次电子 介电函数 原子 CARLO方法 模拟电子 理论描述 级联 
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