硅基多孔氧化铝薄膜微结构的TEM研究  

作　　者：赵小宁[1,2] 吴俊辉[2] 邹建平[2] 朱健民[2] 鲍希茂[2] 冯端[2] 

机构地区：[1]南京大学现代分析中心 [2]南京大学物理系固体微结构国家实验室,南京210093

出　　处：《电子显微学报》2000年第4期473-474,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金资助项目! (5 9832 10 0 );攀登计划资助项目

关 键 词：硅基 多孔氧化铝薄膜 微结构 TEM 

分 类 号：O484[理学—固体物理]