微通道热沉标准单元制作的SEM观察  

作　　者：王晓华[1] 张宝顺[1] 王玉霞 任大翠 张兴德 

机构地区：[1]长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022

出　　处：《电子显微学报》2000年第4期587-588,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：半导体激光器 热沉标准单元 SEM 

分 类 号：TN248[电子电信—物理电子学]