LED湿法清洗设备CDS设计  被引量:6

Design of LED Wet Cleaning Equipment CDS

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作  者:祝福生[1] 

机构地区:[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601

出  处:《电子工业专用设备》2013年第1期43-45,65,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。This paper introduces the composition and working principle of the LED wet cleaning equipment CDS, discusses the realization methods of chemical proportioning and rehydration, gives solution to improve proportioning and rehydration accuracy using flow sensor

关 键 词:集中供液系统(CDS) 泵浦输送 双套管 

分 类 号:TN305.97[电子电信—物理电子学]

 

参考文献:

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引证文献:

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