祝福生

作品数：10被引量：23H指数：4
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：湿法全自动机械手硅片污染物更多>>
发文领域：电子电信机械工程金属学及工艺经济管理更多>>
发文期刊：《城市建设（下旬）》《电子工业专用设备》《清洗世界》更多>>
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基于无氰镀金工艺的溶液循环泵研究
《清洗世界》2023年第4期59-61,共3页魏红军 谢振民 祝福生 
在晶圆电化学沉积过程中,无氰镀金工艺对循环泵提出了更高要求,通过对比分析磁悬浮泵、磁力泵、风囊泵和隔膜泵特性及结构,磁悬浮泵镀液循环脉动小,液流平稳,泵头不会发生金属沉积现象,因此无氰镀金溶液循环常采用磁悬浮泵作为动力源。
关键词：无氰镀金 磁悬浮泵 循环 沉积 
湿法工艺设备高温化学液的直排技术研究
《电子工业专用设备》2021年第5期60-63,67,共5页吴娖 祝福生 赵宝君 秦亚奇 安稳鹏 
湿法工艺设备中经常使用到具有强腐蚀性的强酸类高温化学液,例如160℃的SPM、270℃的H_(2)SO_(4)+H_(3)PO_(4)混合液等。普通的排放方式无法实现高温化学液直接排放。先自然降温再排放的方式换液时间长,各种辅助降温方式,都存在着不足...
关键词：高温化学液 直排技术 虹吸原理 射流泵原理 喉嘴距 
工业泵在湿法腐蚀清洗设备中的应用被引量：4
《电子工业专用设备》2016年第1期43-46,共4页祝福生 郭春华 夏楠君 
介绍了几种常用泵的原理及在湿法腐蚀清洗设备中的典型应用。
关键词：泵 湿法腐蚀清洗 自动供液系统 
全自动高温湿法刻蚀设备的研制
《电子工业专用设备》2015年第12期8-12,共5页祝福生 段成龙 
介绍了高温湿法刻蚀设备在LED芯片制造中图形化衬底制备工艺(PSS)及激光正切后侧边腐蚀工艺两方面的应用;论述了高温强酸刻蚀湿法设备组成、结构及单元模块的功能。
关键词：图形化衬底 侧边腐蚀 干法刻蚀 湿法刻蚀 
太阳能电池制造中化学浓度的预先控制介绍
《电子工业专用设备》2014年第8期25-27,共3页冯小强 祝福生 关宏武 宋文超 
太阳能电池的制造需要许多湿清洗步骤。制绒是这些步骤之一,这个阶段是非常重要的,用它可以确保单晶硅和多晶硅电池片的高效率。为了获得稳定和可循环使用的制造工艺,精确可靠的实时测量刻蚀成分主要针对太阳能电池片生产中化学液浓度...
关键词：太阳能 制绒 化学浓度 控制 
LED湿法清洗设备CDS设计被引量：6
《电子工业专用设备》2013年第1期43-45,65,共4页祝福生 
介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。
关键词：集中供液系统(CDS) 泵浦输送 双套管 
全自动半导体RCA清洗机被引量：6
《清洗世界》2013年第1期42-46,共5页段成龙 祝福生 
RCA清洗工艺是一种在半导体制造过程中被广泛应用的工艺,是去除硅片表面各类玷污的有效方法。本文介绍了RCA清洗工艺的原理、过程以及应用,并详细介绍了全自动半导体RCA清洗机的组成、各单元结构及功能。
关键词：RCA清洗工艺 化学清洗 清洗设备 全自动设备 
300mm全自动去胶清洗设备的研制被引量：2
《电子工业专用设备》2011年第7期31-33,共3页曹秀芳 曹颖杰 祝福生 
介绍了一种全自动去胶清洗设备的结构技术,主要从工艺槽体溶液均匀性实现等方面阐述槽体结构。经用户使用证明:该系统运行稳定可靠,工艺灵活,清洗工艺先进。适用150～300 mm晶圆片的去胶、腐蚀、清洗等工艺。
关键词：机械手 去胶槽 去胶清洗设备 
硅片湿法清洗工艺技术及设备发展趋势被引量：8
《电子工业专用设备》2011年第4期9-13,28,共6页曹秀芳 姚立新 祝福生 宋文超 
简要介绍了硅片湿化学清洗工艺技术及清洗设备结构技术,包括一些典型的槽体结构、干燥工艺技术等。并就清洗技术的发展需要,阐述未来清洗设备的发展趋势。
关键词：硅片 污染物 标准工业湿法清洗 槽式清洗 旋转甩干 单片旋转清洗 
一种晶硅太阳能电池片自动制绒设备被引量：1
《城市建设（下旬）》2011年第1期325-327,329,共4页赵永进 祝福生 冯小强 
本文简要介绍了太阳能电池行业的现状和晶硅太阳能电池片的制绒工艺原理。分项阐述了太阳能电池片自动制绒清洗机的主要结构和功能设计。重点说明了设备的重要组成部件制绒槽和机械手的设计要点。通过解决工艺生产实践中遇到的问题，将...
关键词：太阳能电池 表面织构 制绒设备 机械手 
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