工业泵在湿法腐蚀清洗设备中的应用  

Application of Supply Pump in Wet Etching Cleaning Equipment

作　　者：祝福生[1] 郭春华[1] 夏楠君 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601

出　　处：《电子工业专用设备》2016年第1期43-46,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：介绍了几种常用泵的原理及在湿法腐蚀清洗设备中的典型应用。The principle of several common pump and it＇s typical application in wet etching cleaning equipment was introduced in this paper.

关 键 词：泵 湿法腐蚀清洗 自动供液系统 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]