姚立新

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全自动单晶圆铝腐蚀清洗机工艺原理与工作过程介绍被引量:4
《电子工业专用设备》2013年第6期1-4,31,共5页宋文超 陈仲武 姚立新 张利军 王刚 
介绍了几种常用的晶圆金属铝膜腐蚀工艺,并详细讲解了全自动单晶圆铝腐蚀清洗机采用第四种工艺配方进行金属铝膜腐蚀清洗的工艺过程。同时,简单介绍了为提高腐蚀清洗效果而设计的两套子系统的工作原理。
关键词:半导体 铝腐蚀 单晶圆清洗 自动设备 
硅片湿法清洗工艺技术及设备发展趋势被引量:8
《电子工业专用设备》2011年第4期9-13,28,共6页曹秀芳 姚立新 祝福生 宋文超 
简要介绍了硅片湿化学清洗工艺技术及清洗设备结构技术,包括一些典型的槽体结构、干燥工艺技术等。并就清洗技术的发展需要,阐述未来清洗设备的发展趋势。
关键词:硅片 污染物 标准工业湿法清洗 槽式清洗 旋转甩干 单片旋转清洗 
自动光学检测仪工作台运动控制系统的研究被引量:2
《电子工业专用设备》2009年第6期3-7,共5页邴守东 姚立新 
对PCB自动光学检测仪工作台运动控制系统进行了研究。通过优化PID参数,加积分校正,建立螺距补偿表的方法,提高了系统的定位精度及动态特性。
关键词:速度环 位置环 积分校正 补偿表 
MCM基板电路中的短路和断路的自动光学检测算法
《电子工业专用设备》2006年第2期35-38,共4页姚立新 张云 
介绍了MCM基板自动光学检测算法。该算法包括二值化处理,数学形态学中的开运算和闭运算、骨架化算法,以及特征提取和特征比对。该算法能够快速准确地抽取MCM基板电路中的主要特征,并且在有效放大短路和断路特征之后检测出缺陷。
关键词:二值化处理 开运算 闭运算 骨架化算法 
AOI系统在PCB中的应用被引量:28
《电子工业专用设备》2004年第5期25-28,共4页姚立新 张武学 连军莉 
针对PCB制造过程中的缺陷,主要介绍自动光学检测(AOI)系统的作用、工作原理、生产流程、主要组成部分及主要技术模块。
关键词:自动光学检测 印刷电路板 缺陷检测 
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