基于无氰镀金工艺的溶液循环泵研究  

作　　者：魏红军 谢振民 祝福生[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《清洗世界》2023年第4期59-61,共3页Cleaning World

摘　　要：在晶圆电化学沉积过程中,无氰镀金工艺对循环泵提出了更高要求,通过对比分析磁悬浮泵、磁力泵、风囊泵和隔膜泵特性及结构,磁悬浮泵镀液循环脉动小,液流平稳,泵头不会发生金属沉积现象,因此无氰镀金溶液循环常采用磁悬浮泵作为动力源。

关 键 词：无氰镀金 磁悬浮泵 循环 沉积 

分 类 号：TQ153[化学工程—电化学工业]