机器人在喷涂装置中的应用  

作　　者：张志伟[1] 赵加宝[1] 刘金平[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十八研究所

出　　处：《太阳能》2013年第1期40-42,共3页Solar Energy

摘　　要：随着机器人技术的发展,将机器人引入坩埚喷涂工艺中变得可行,此种设备可替代人工在高温、多尘的恶劣环境中使用,且工艺稳定,效益明显。

关 键 词：坩埚喷涂 机器人 全自动 FANUC 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]