厚、薄膜电阻激光快速微调技术  

作　　者：张景旭[1] 田兴志[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130022

出　　处：《光机电信息》2000年第7期23-26,共4页OME Information

摘　　要：详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.

关 键 词：集成电路 激光微调 激光调阻 薄膜电阻 厚膜电阻 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TN24