浅析磁控溅射氧化锡镀膜工艺  

Analysis of Tin Oxide Coating Process with Magnetron Sputtering

作　　者：郭明 杨建社 

机构地区：[1]金堆城洛阳节能玻璃有限公司,洛阳市471202

出　　处：《玻璃》2013年第2期27-33,共7页Glass

摘　　要：通过对磁控溅射氧化锡镀膜工艺的研究,指出在不同溅射功率、不同工艺气体流量下,如何稳定、高效地控制氧化锡磁控溅射镀膜工艺。This article discussed the tin oxide coating technique with magnetron sputtering process in order to make the process steadiness and high efficiency under different sputtering power and gas flow rate through the research on tin oxide coating technology.

关 键 词：磁控溅射 氧化锡 气体流量 阴极电压 

分 类 号：TQ171[化学工程—玻璃工业]