巨大的硅团粒阳离子在远程硅烷等离子体中的形成  

作　　者：卫冰 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第8期13-15,共3页

关 键 词：硅团粒阳离子 硅烷等离子体 等离子体源 

分 类 号：O531[理学—等离子体物理] TL629.1[理学—物理]