基于排队论的多等级订单下晶圆产品的工序等待时间  

Waiting Time for Operations Estimation in Wafer Fabrication with Multiple-Priority Orders Based on Queuing Theory

作　　者：杨立熙[1] 陈可嘉[1] 

机构地区：[1]福州大学管理学院,福建福州350108

出　　处：《江南大学学报（自然科学版）》2013年第2期244-248,共5页Joural of Jiangnan University (Natural Science Edition)　

基　　金：国家自然科学基金项目(70901021);教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-11-0903);教育部人文社会科学基金项目(10YJC630333);福建省社会科学规划项目(2010B067)

摘　　要：基于晶圆制造系统的产品生产流程和运作模式,研究工序等待时间计算问题。分析了多等级订单运作环境下工序等待时间的影响因素;针对影响工序等待时间的主要因素,建立了面向设备负荷与能力因素以及面向批量因素的工序等待时间模型;在考虑晶圆制造系统生产特征的基础上,应用排队论求解模型。算例与仿真实验表明,模型具有较好的计算精度。Waiting time for the wafer product is investigated based on the product process and the operation mode. In a wafer fabrication setting with multiple - priority orders, the key factors are analyzed. The waiting time model is established for load and capacity of machines and batching mode. To these two influenced factors, two predictive models for waiting time for operation are proposed and the algorithm is developed by using the queuing theory under the circumstance of wafer fabrication. The simulation results indicate that the proposed model has better accuracy.

关 键 词：工序等待时间 晶圆制造系统 多等级订单 排队论 

分 类 号：F272.1[经济管理—企业管理]