浅析部分氧化镍铬膜生产工艺  

作　　者：郭明 

机构地区：[1]金堆城洛阳节能玻璃有限公司

出　　处：《建筑玻璃与工业玻璃》2013年第1期17-23,共7页Architectural Glass and Functional Glass

摘　　要：本文通过对磁控溅射部分氧化镍铬膜工艺的研究，指出在不同3-艺气体流量下，在不同溅射功率下，如何稳定控制部分氧化镍铬膜的生产。

关 键 词：磁控溅射 镍铬膜 部分氧化 气体流量 阴极电压 

分 类 号：TQ153.11[化学工程—电化学工业]