多晶硅生产过程的质量控制  

Quality Control in Polysilicon Production Process

作　　者：刘秀琼[1] 汪治林 邓丰[1] 

机构地区：[1]乐山职业技术学院,四川乐山614000 [2]乐电天威硅业科技有限公司,四川乐山614000

出　　处：《广东化工》2013年第7期87-88,90,共3页Guangdong Chemical Industry

基　　金：中国环境科学研究院环保公益性行业科研专项(201209056)

摘　　要：文章结合改良西门子法多晶硅生产实际,系统分析了多晶硅生产过程中各工序对多晶硅产品质量影响,并针对不同工序特点提出产品质量控制要素。分析探讨多晶硅产品质量影响与控制,对降低生产成本,提高产品竞争力,具有重要意义。Based on polysilicon production practice of the improved Siemens method, analysis polycrystalline silicon product quality influence in each working procedure of the polysilicon production process systematically, and put forward quality control elements according to different characteristics of the process~ Analyze polysilicon product quality influence and control, it is great significance to reduce the production cost, improve product competitiveness.

关 键 词：改良西门子法 多晶硅 质量控制 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]