基于MEMS技术的微麦克风的研制  

作　　者：陈兢[1] 刘理天[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所

出　　处：《世界产品与技术》2000年第10期23-25,共3页

关 键 词：MEMS 微麦克风 纹膜结构 微电子 

分 类 号：TN643[电子电信—电路与系统] TN492