化学量传感器  

Chemkal Sensors

作　　者：虞惇 王贵华[1] 武世香 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《传感器技术》1991年第6期52-60,共9页Journal of Transducer Technology

摘　　要：在溶液分析中,被测液的组成大多比较复杂、往往需要同时分析溶液中的多种离子成分,因此ISFET的集成化和多功能化多年来始终是人们追求的目标。由于ISFET在工艺上与MOSFET基本相容,其目标的实现成为可能。 ISFET的集成化分为两大方向,一是改进器件性能,二是扩大器件功能。

关 键 词：化学量 传感器 离子 场效应器件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]