氢异常辉光放电阴极鞘层区中H_n^+的质谱分析  被引量:2

MASS SPECTRUM ANALYSES OF H_n^+ IN THE CATHODE SHEATH OF THE PURE H_2 ABNORMAL GLOW DISCHARGES

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作  者:刘佳宏[1] 唐书凯[1] 王文春 丁洪斌 杨学锋 

机构地区:[1]大连理工大学等离子体物理化学实验室,大连116024

出  处:《核聚变与等离子体物理》2000年第1期43-47,共5页Nuclear Fusion and Plasma Physics

基  金:国家自然科学基金!( 195 75 0 0 7);大连理工大学国家"2 11工程"重点建设学科发展基金

摘  要:利用三级差分抽气的分子束质谱装置,对短间隙纯氢异常辉光放电阴极鞘层区中H+n(n=1~3)离子粒种及相对离子流强度与气压、放电电流的关系进行了研究。在133~665Pa氢气压下的放电离子流中,H+占90%以上,其次是H+3,H+2几近为零,且H+与H+3的离子流强度比值随气压升高迅速增加。同一气压下,放电电流在一定范围内变化只是改变总离子流的强度,而不同离子的相对离子流强度改变不大。The ion species of H+n (n =1~ 3 ) and their relative intensities in the cathode sheath of the pure H2 abnormalglow discharges with various H2 gas pressure and different dis charge currentare analysed with a mass spectrometer.The resultshows that the H+component ofionsisdominated,no lessthan90 percent,and the H+3 smaller,the H+2 hardly detectable in the H2 pressure rangeof1 3 3 Pa to 665Pa.The ratio between H+and H+3 intensitiesincreaseswith the gas pressure.The totalintensity increases with the discharge current,and the ratio between H+ and H+3 intensities is unchanged.The main physics chemistry processes in the hydrogen plasma are discussed.

关 键 词:质谱 氢等离子体 异常辉光放电 阴极鞘层区 

分 类 号:O536[理学—等离子体物理]

 

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