衍射微透镜列阵掩模制作软件的设计  

Design of Mask Manufacturing Software for Diffractive Microlens Arrays

作　　者：白临波[1] 邱传凯[1] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610209

出　　处：《光电工程》2000年第5期23-26,共4页Opto-Electronic Engineering

摘　　要：研究了衍射微透镜列阵的设计方法及 CIF格式掩模数据的数据结构与生成方法 ,设计了一套实用软件 ,采用图形切割、跟踪计算等方法 ,解决了生成子孔径为矩形、六方形及圆环扇形的衍射微透镜列阵掩模的问题 ,满足了实际系统对衍射微透镜列阵子孔径形状的各种需求。The design method for diffractive microlens arrays,the data struc t ure of CIF format mask data and their generating method are investigated in the paper.A practical software is designed.The problems in generating the masks for d iffractive microlens arrays with sub-aperture shapes of rectangular,hexagon,cir que-sector are solved by adopting the methods of image segmentation and trackin g algorithm,thus the various requirements of the practical systems for the sub- apertures of the diffractive microlens arrays are fulfilled.

关 键 词：衍射微透镜列阵 掩模 图形切割 软件开发 

分 类 号：TP311.52[自动化与计算机技术—计算机软件与理论] TP391.41[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]