硅片清洗助手  

出　　处：《现代制造》2013年第17期9-9,共1页Maschinen Markt

摘　　要：硅片生产好之后，为了便于运输，它们会被装在晶片承载器中。这里提到的装置是用来清洗这些硅片承载器的。

关 键 词：硅片清洗 承载 晶片 

分 类 号：TN305.2[电子电信—物理电子学]