一种基于DVD读取头的非接触触发探头  

A Non-contact Trigger Probe Based on DVD Pick-up Head

作　　者：高伟[1] 陈晓怀[1] 陈贺[1] 

机构地区：[1]合肥工业大学仪器科学与光电工程,安徽合肥230009

出　　处：《现代显示》2012年第12期35-40,共6页Advanced Display

基　　金：国家自然基金项目(编号:50675057)

摘　　要：文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头,它由商用DVD读取头改装而成,已经完成设计与制作。实验结果表明,此非接触探头分辨率优于1nm,测量重复性可达12nm。目前此非接触触发探头已应用于纳米三坐标测量机上。This paper presents a non-contact trigger probe based on the commercial DVD pick-up head. The focus sensor and the mechanism have been designed and manufactured. Experimental results show that the non-contact trigger probe can obtains 1 nm resolution and a repeatability of 12nm. The non-contact trigger probe can be used on a micro/nano CMM.

关 键 词：DVD光学读取头 非接触探头 纳米三坐标测量机 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程]