纳米三坐标测量机

作品数：33被引量：140H指数：7
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微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿被引量：11
《计量学报》2022年第4期452-456,共5页李瑞君 李洁 何亚雄 程真英 黄强先 
国家重点研发计划项目(2019YFB2004900)。
垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一,必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型。采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置,先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量,并对微纳米三坐标测量...
关键词：计量学 微纳米三坐标测量机 垂直度误差 建模补偿 
纳米三坐标测量机研究进展被引量：1
《设备管理与维修》2021年第17期17-18,共2页党威武 
陕西省教育科学“十三五”规划2020年度课题(课题批准号:SGH20Y1575,课题名称:基于智能检测技术的技能训练模块开发与应用)
随着纳米技术的发展,各种微型器件在纳米体系下表现出新的特征和功能,为了保证微型器件的产品生产与质量控制,高精度、小体积、纳米级三坐标测量机的研制与开发引起了科研工作者的极大关注。简要归纳和总结近些年国内外纳米三坐标测量...
关键词：纳米 三坐标测量机 测量 
基于三维光电传感器的接触式探头优化设计
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2019年第5期617-620,共4页靳夏文 李瑞君 王鹏宇 
国家自然科学基金资助项目(51675157;51805136)
文章设计了一种适用于微纳米三坐标测量机(coordinate measuring machine,CMM)的光学接触式探头,介绍了该探头的结构和原理,并建立了探头的灵敏度模型;依据三维方向等刚度和等灵敏度的原则,得出了探头结构的最优参数;对探头刚度进行仿...
关键词：微纳米三坐标测量机(CMM) 接触式探头 参数优化 灵敏度 刚度 重复性 
三坐标测量机微纳探头的设计与验证被引量：6
《计测技术》2018年第3期60-81,共22页范光照 李瑞君 
国家自然科学基金项目(51675157)
介绍了国内外测量探头的研究现状;设计了基于簧线和簧片的弹性机构,建立了典型结构:弹性机构的刚度模型,对不同形状的弹性机构进行了仿真验证;介绍了作者团队研制的几种光学传感器及八款三坐标测量机微纳探头,对探头的性能进行了实验验...
关键词：计量学 微纳米三坐标测量机 探头 
等刚度高灵敏探头弹性机构设计被引量：1
《齐鲁工业大学学报》2017年第1期55-58,共4页周斌 王鹏宇 陈晶 张雅雯 李瑞君 
安徽省高校自然科学研究重点项目(KJ2015A410);安徽电气工程职业技术学院重点科研项目(2015zdxm06;2015zdxm05)
针对微型和小型元件的测量问题,设计了一种微纳米三坐标测量机的接触式探头高灵敏弹性机构。弹性机构由铍铜合金簧片、铝合金悬浮片、钢混合玻璃纤维探针以及红宝石测球构成。当测球与被测物体接触时,簧片产生弹性形变,根据弹性理论对...
关键词：弹性机构 微纳米三坐标测量机 刚度 
微纳米三坐标测量机探头等效直径测量
《山东工业技术》2016年第22期293-294,共2页赵晓萌 
文中微纳米三坐标测量机在外尺寸测量过程中,探头与被测件存在接触力变形、摩擦力、还有测头的各向异性等因素,因此,对最终的测量精度有一定的影响。为了进一步提高微纳米三坐标测量机的测量精度,本文提出了通过对量块标准件进行不同角...
关键词：微纳米三坐标测量机 量块 等效直径 
接触触发式三维微纳米探头
《光电工程》2016年第8期1-6,共6页李瑞君 李心愿 向萌 程真英 范光照 
国家自然科学基金项目资助(51275148;51475133);安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目资助(KJ2015A410)
为解决微电子机械系统(MEMS)器件三维尺寸高精度测量的难题,研制了一种适用于微纳米三坐标测量机的新型高精度三维接触触发式探头。该探头只用了一个基于四象限感测器的二维角度传感器即可同时实现对测球三维运动的高精度感测。介绍了...
关键词：位移测量仪表 微纳米三坐标测量机 接触触发式探头 弹性机构 测微力计 
基于视觉引导的3D纳米测头被引量：4
《仪表技术与传感器》2015年第11期11-14,共4页黄强先 史科迪 陈晨 
国家自然科学基金项目(51175141)
针对现有微纳米CMM机(Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,微纳米CMM)测量逼近效率低的问题,设计了一种基于视觉引导的3D纳米测头。该测头以石英音叉结合一体式光纤微测杆测球作为微力触发定位传感器,以3个空间布置的微型USB高倍...
关键词：微纳米三坐标测量机 微纳米测头 视觉引导 聚焦区域选择 清晰度评价 高斯滤波 极点搜索 
微纳米三坐标测量机的高精度恒温箱研制被引量：5
《计量学报》2015年第5期455-459,共5页冯建 李瑞君 何亚雄 范光照 
国家自然科学基金(51275148,51175141);安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目(KJ2014A021)
针对恒温室控制精度低和分离式恒温箱因振动而无法满足微纳米三坐标测量机需要的问题，研制了一套自然对流式高精度恒温箱。用定制尺寸的中空亚克力板和轻便型超低导热系数真空绝热板制成绝热箱体。以仪器测量点温度作为温度控制反馈值...
关键词：计量学 微纳米三坐标测量机 恒温箱 半导体制冷片 真空绝热板 自然对流 
基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统被引量：4
《机械工程学报》2015年第2期1-6,共6页李志渤 黄强先 史科迪 韩彬 余惠娟 
国家自然科学基金(51175141);教育部博士点基金(20100111110011);国家高技术研究发展计划(863计划;2008AA042409)资助项目
微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量...
关键词：微纳米三坐标测量机 三维纳米测头 聚偏氟乙烯薄膜 三维谐振触发测头 三维谐振触发定位系统 
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