何亚雄

作品数：3被引量：18H指数：3
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：直线度纳米三坐标测量机测力六自由度坐标测量机更多>>
发文领域：机械工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《计量学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
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XY工作台六自由度误差在线测量和补偿被引量：3
《光学精密工程》2023年第12期1761-1773,共13页林荣炜 程真英 何亚雄 李洁 李瑞君 
国家自然科学基金资助项目(No.52175506);国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004900)。
为提高XY工作台对应功能点的空间位置精度,提出了一种六自由度(6-DOF)误差在线测量方法,并建立了相应的误差补偿模型。采用激光干涉原理测量工作台X,Y轴方向的定位误差和Z轴方向的直线度误差,采用激光自准直原理测量工作台绕X,Y,Z轴转...
关键词：XY工作台 多自由度 补偿模型 阿贝原则 
微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿被引量：11
《计量学报》2022年第4期452-456,共5页李瑞君 李洁 何亚雄 程真英 黄强先 
国家重点研发计划项目(2019YFB2004900)。
垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一,必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型。采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置,先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量,并对微纳米三坐标测量...
关键词：计量学 微纳米三坐标测量机 垂直度误差 建模补偿 
微纳米三坐标测量机的高精度恒温箱研制被引量：5
《计量学报》2015年第5期455-459,共5页冯建 李瑞君 何亚雄 范光照 
国家自然科学基金(51275148,51175141);安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目(KJ2014A021)
针对恒温室控制精度低和分离式恒温箱因振动而无法满足微纳米三坐标测量机需要的问题，研制了一套自然对流式高精度恒温箱。用定制尺寸的中空亚克力板和轻便型超低导热系数真空绝热板制成绝热箱体。以仪器测量点温度作为温度控制反馈值...
关键词：计量学 微纳米三坐标测量机 恒温箱 半导体制冷片 真空绝热板 自然对流 
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