余惠娟

作品数：5被引量：26H指数：3
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：微器件测头纳米振动梁纳米三坐标测量机更多>>
发文领域：机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《中国机械工程》《工具技术》《仪器仪表学报》《机械工程学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统被引量：4
《机械工程学报》2015年第2期1-6,共6页李志渤 黄强先 史科迪 韩彬 余惠娟 
国家自然科学基金(51175141);教育部博士点基金(20100111110011);国家高技术研究发展计划(863计划;2008AA042409)资助项目
微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量...
关键词：微纳米三坐标测量机 三维纳米测头 聚偏氟乙烯薄膜 三维谐振触发测头 三维谐振触发定位系统 
石英音叉三维谐振触发定位系统被引量：1
《仪器仪表学报》2013年第10期2351-2357,共7页余惠娟 黄强先 李志渤 史科迪 程真英 
国家自然科学基金(51175141);教育部博士点基金(20100111110011)资助项目
为实现对微器件等三维测量时在三维方向上任意单点的高精度触发定位,提出一种新型三维谐振触发定位系统。以石英音叉作为微力传感器,与一体式光纤微测杆测球相结合,利用其谐振参数(谐振振幅、谐振频率/谐振相位)对微力的高敏感性构建三...
关键词：触发定位 石英音叉 谐振特性 三维谐振触发测头 纳米 三维谐振触发定位系统 
微纳米三坐标测量机测头的研究进展被引量：15
《中国机械工程》2013年第9期1264-1272,共9页黄强先 余惠娟 黄帅 钱剑钊 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助重点项目(2008AA042409);国家自然科学基金资助项目(50975075;51175141);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20100111110011)
根据微纳米三维测量的发展和研究现状,首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类,然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了介绍和比较,指出了各种类型测头需要解决的问题。针对这些测头的局限性,探讨了正在研究的新型三维谐振...
关键词：测头 微纳测量 微纳米坐标测量机 三维测量 
石英音叉扫描探针显微镜被引量：7
《机械工程学报》2012年第4期1-5,共5页黄强先 王毛翠 赵剑 王广红 余惠娟 
国家自然科学基金(50975075);国家重点基础研究发展计划(863计划;2008AA042409)资助项目
石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头。该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂...
关键词：石英音叉 钨探针 相位反馈 扫描探针显微镜 
基于VC++的SPM系统中PVDF振动梁谐振频率扫描
《工具技术》2011年第4期88-91,共4页盛秀丽 黄强先 石楠 余惠娟 魏晋鹏 
国家自然科学基金资助项目(50975075);博士点基金(博导类)资助项目(20100111110011)
为了快速、准确地得到扫描探针显微镜系统(SPM)中PVDF薄膜振动梁的谐振频率,基于VC++环境,提出了一种以TFG2006G型DDS函数信号发生器为被控源的自动完成频率扫描的方法。首先,根据PVDF薄膜的压电效应介绍了其在SPM系统中的工作特性。其...
关键词：频率扫描 PVDF压电振动梁 VC++ 
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