赵剑

作品数：2被引量：13H指数：2
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：钨探针石英音叉扫描探针显微镜力变形更多>>
发文领域：机械工程更多>>
发文期刊：《机械工程学报》《中国机械工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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接触测量中的微探球力变形研究被引量：6
《中国机械工程》2014年第14期1926-1929,共4页李志渤 黄强先 赵剑 尤焕杰 程真英 
国家自然科学基金资助项目(51175141);国家高技术研究发展计划(863计划)资助重点项目(2008AA042409)
随着微纳米测量系统中测头微探球尺寸的不断减小和测量不确定度要求的不断提高,测力所引起的力变形误差对测量系统不确定度有着不可忽略的影响。根据Hertz理论,构建了微探球与工件接触时的接触模型、微探球与试样力变形模型,给出了最大...
关键词：微探球 力变形 微纳米测量 接触测量 
石英音叉扫描探针显微镜被引量：7
《机械工程学报》2012年第4期1-5,共5页黄强先 王毛翠 赵剑 王广红 余惠娟 
国家自然科学基金(50975075);国家重点基础研究发展计划(863计划;2008AA042409)资助项目
石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头。该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂...
关键词：石英音叉 钨探针 相位反馈 扫描探针显微镜 
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