王毛翠

作品数：1被引量：7H指数：1
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：石英音叉压电驱动器压电传感器谐振锁相环路更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术更多>>
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石英音叉扫描探针显微镜被引量：7
《机械工程学报》2012年第4期1-5,共5页黄强先 王毛翠 赵剑 王广红 余惠娟 
国家自然科学基金(50975075);国家重点基础研究发展计划(863计划;2008AA042409)资助项目
石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头。该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂...
关键词：石英音叉 钨探针 相位反馈 扫描探针显微镜 
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