甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜  

DLC Films by Plasma Electro-deposition in Methanol Aqueous Solution

作　　者：黄锋[1] 罗北平[2] 许友[2] 余红霞[2] 武鹄[2] 

机构地区：[1]湘潭大学化工学院,湖南湘潭411105 [2]湖南理工学院化工系,湖南岳阳414006

出　　处：《湖南理工学院学报（自然科学版）》2013年第1期52-56,共5页Journal of Hunan Institute of Science and Technology(Natural Sciences)

基　　金：湖南省自然科学基金重点项目(11JJ2028)

摘　　要：在铜基体上，用甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜．电镀液组成为：醇水比为4：1，添加荆KCl为3gm．A1C13微量．探讨电流密度和两极间距等因素对于电极表面气泡区域厚度、均匀程度、稳定性的影响，进而分析其对甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜的影响．通过扫描tk~（SEM）观察薄膜表面形貌；通过对X射线衍射（xRD）图谱分析得知薄膜成多晶结构，分别在20=43．9°，50．9°和75．3°处出现了（111）、（200）和（220）晶面的特征峰，晶粒的尺寸约为8～15nm左右；通过EDX分析得到薄膜中碳元素含量较高，并分析了电场强度随时间的变化．On the copper substrate, the DLC film is propagated by plasma elcctrodeposition in methanol aqueous solution. The plating solution composition： alcohol water proportion is 4：1, the additive KCI content is 3g/L and the A1C13 is trace amounts. The influence of the current density and the electrode spacing to the electrode surface bubble zone thickness, uniformity and stability are discussed in the article. The film surface morphology is observed by scanning electron microscopy（SEM）; The polycrystalline structure of the film can be observed through the X-ray diffraction（XRD）pattern., the characteristic peak of the （111）, （200） and （220） crystal plane are observed at 20 = 43.9°, 50.9° and 75.3°. The high carbon content is observed by EDX analysis.

关 键 词：DLC薄膜 微观结构 等离子体 电流密度 极间距 电沉积 

分 类 号：O646[理学—物理化学]