半导体光电子器件制造业MES的应用与发展  

作　　者：郭栓银[1] 王继帅[1] 李超[1] 

机构地区：[1]中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,江苏苏州215163

出　　处：《科技风》2013年第7期107-108,共2页

摘　　要：对半导体光电子行业MES(Manufacturing Execution System)的应用现状做了总结,分析了现有系统的功能属性、模块分类及使用效果,归纳了目前系统的技术特点和存在的问题,并在此基础上指出了半导体光电子行业MES系统体系结构的发展方向,以供企业设计MES系统参考。

关 键 词：半导体光电子 制造业 MES 

分 类 号：F426.4[经济管理—产业经济]