ALD技术显著提升发光器件效率  

出　　处：《军民两用技术与产品》2013年第5期24-24,共1页Dual Use Technologies & Products

摘　　要：中国科学院微电子研究所将先进的原子层沉积（AtomicLayerDeposition，ALD）技术应用于高光效半导体发光器件的研究，并取得了显著进展。

关 键 词：半导体发光器件 技术 ALD 原子层沉积 电子研究所 中国科学院 高光效 

分 类 号：TN383[电子电信—物理电子学]