聚硅氮烷的应用研究进展  

Progress in Application of Polysilazane

作　　者：张宗波[1] 曾凡[1] 罗永明[1] 徐彩虹[1] 

机构地区：[1]中国科学院化学研究所,北京100190

出　　处：《有机硅材料》2013年第3期216-222,共7页Silicone Material

基　　金：国家自然科学基金项目(50973113);973计划项目(2010CB934705;2012CB93320)

摘　　要：在简要介绍聚硅氮烷发展历程的基础上,综述了聚硅氮烷的应用研究进展,主要包括纤维、涂层、块体、多孔陶瓷、微电子机械系统(MEMS)等应用形式,并结合本课题组在聚硅氮烷方面的研究成果展望了聚硅氮烷的发展前景。After a briefly introduction of polysilazanes, their application progress including the prepara- tion of ceramic materials, such as fiber, coating, bulk, porous ceramic, and MEMS, was reviewed. The pros- pect of polysilazane was discussed on the basis of our research work.

关 键 词：聚硅氮烷 陶瓷 前驱体 纤维 涂层 陶瓷块体 多孔陶瓷 微电子机械系统 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]