用连续波CO_2激光对氮化硅陶瓷打孔的实验研究  

EXPERIMENTAL INVESTIGATION ON LASER DRILLING OF Si_3N_4 CERAMICS WITH CW CO_2 LASER

作　　者：陈可心[1] 张有[1] 廖健宏[1] 王卫乡[2] 

机构地区：[1]华南师范大学量子电子学研究所,广州510631 [2]广东省邮电管理局

出　　处：《华南师范大学学报（自然科学版）》2000年第1期59-62,共4页Journal of South China Normal University(Natural Science Edition)

摘　　要：报导用连续波ＣＯ_２激光加工机对氮化硅陶瓷的激光打孔试验，获得了深径比达１８．７５的结果．The test for laser of Si_3N_4 ceramics by CW CO_2 laser processing system is reported. The result shows that the proportion of depth to diameter is 18.75.

关 键 词：激光加工 氮化硅陶瓷 激光打孔 二氧化碳激光 

分 类 号：TQ174.1[化学工程—陶瓷工业]