王卫乡

作品数：21被引量：82H指数：5
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供职机构：华南师范大学信息光电子科技学院量子电子学研究所更多>>
发文主题：纳米硅氮化硅激光诱导化学气相沉积硅更多>>
发文领域：电子电信理学化学工程机械工程更多>>
发文期刊：《华南理工大学学报（自然科学版）》《电子学报》《华南师范大学学报（自然科学版）》《高压物理学报》更多>>
所获基金：广东省自然科学基金中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
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激光诱导化学气相沉积法制备纳米晶硅的制备参数和退火工艺的研究
《激光杂志》2002年第2期48-51,共4页梁礼正 张海燕 何艳阳 陈可心 王卫乡 刘颂豪 
用CO2 红外激光诱导化学气相沉积的方法制备纳米Si,激光强度越大 ,则SiH4受热温度越高 ,纳米Si的成核率越高 ,纳米Si核的密度越大 ,每一个核生长所吸收的Si原子数目越少 ,从而所得的纳米Si粒小而均匀。当激光强度减小到一个低限阈值 ,则...
关键词：激光诱导 化学气相沉积法 制备 纳米晶硅 制备参数 退火工艺 红外吸收光谱 集成电路 
制备参数和退火对激光诱导化学汽相沉积合成纳米硅的粒径和红外光谱的影响被引量：10
《红外与激光工程》2001年第5期382-386,共5页梁礼正 张海燕 何艳阳 陈可心 王卫乡 刘颂豪 
用激光诱导化学汽相沉积 (LICVD)法制备纳米硅 ,发现 :激光强度存在低限阈值 ,SiH4的流速存在着高限阈值 ,二者正相关 ,以维持SiH4 裂解所需的高温。为了使纳米硅粒小而均匀 ,应加大激光强度 ,并相应加快SiH4 的流速 ,以提高纳米硅粒的...
关键词：激光诱导 化学汽相沉积 纳米硅粉 红外光谱 粒径 退火 
退火处理对激光诱导化学气相沉积制备纳米硅红外光谱的影响
《中山大学学报（自然科学版）》2000年第S2期169-173,共5页张海燕 陈可心 刘颂豪 梁礼正 王卫乡 
研究激光诱导化学相沉积（ＬＩＣＶＤ）法制备纳米硅粒子的工艺过程，分析了影响纳米硅形成及尺寸的主要工艺参数，获得了最佳的工艺条件并讨论了退火处理对纳米硅红外光谱各吸收峰的强度。
关键词：纳米硅 激光诱导化学气相沉积(LICVD) 红外光谱 
用连续波CO_2激光对氮化硅陶瓷打孔的实验研究被引量：2
《华南师范大学学报（自然科学版）》2000年第1期59-62,共4页陈可心 张有 廖健宏 王卫乡 
报导用连续波ＣＯ_２激光加工机对氮化硅陶瓷的激光打孔试验，获得了深径比达１８．７５的结果．
关键词：激光加工 氮化硅陶瓷 激光打孔 二氧化碳激光 
纳米晶Si在高压下的电学性质与金属化相变被引量：1
《高压物理学报》1999年第2期133-137,共5页鲍忠兴 何宇亮 王卫乡 柳翠霞 陈伟 
中国科学院半导体材料科学开放实验室资助
在金刚石压砧装置上，采用电阻和电容测量方法，研究了粒径为１５～１８ｎｍ和８０ｎｍ的纳米晶Ｓｉ在室温下、２４ＧＰａ内的电阻、电容与压力的关系。实验结果表明。
关键词：纳米晶 电阻 电容 金属化相变 硅 高压 
纳米结构硅研究的发展动态被引量：1
《华南师范大学学报（自然科学版）》1998年第1期106-111,共6页陈昌武 王卫乡 
广东省基金
本文综合归类了目前制备纳米结构硅的主要方法：等离子体化学气相沉积．激光诱导化学气相沉积和热蒸发法（制纳米晶硅）及电化学腐蚀法（制多孔硅），给出各种方法的典型参数及其对纳米硅结构的影响，分析了纳米硅结构特征，比较分析了...
关键词：纳米结构 硅 制备方法 光学性能 半导体 
仪表铝面板的激光切割被引量：8
《应用激光》1998年第1期33-34,共2页陈可心 梅宴标 廖健宏 张有 王卫乡 
在CO2激光切割铝面板的试验中，分析了切割速度和辅助氧压对切割质量及熔渣附着量的影响；解决了工件逆反射的难题；获得了激光切割铝板的较佳工艺参数。
关键词：激光切割 铝板 仪表 
激光合成纳米硅的可见发光被引量：1
《应用激光》1996年第5期193-195,220,共4页王卫乡 张季波 李国明 吴育槐 曾志坚 
广东省自然科学基金;广东省高教厅重点学科资助
研究了激光ＣＶＤ合成纳米硅（平均粒径为１４ｎｍ）的可见发光特性。用３００－４５０ｎｍ波长激发时，在４００－６５０ｎｍ区间观测到了发射宽峰。首次发现粒径大于１０ｎｍ的纳米硅在室温下具有可见发光，该现象可用量子限制／发光...
关键词：纳米硅 光致发光 激光CVD 
理想化学计量纳米氮化硅的制备被引量：4
《无机材料学报》1996年第3期448-452,共5页王卫乡 刘颂豪 李道火 刘宗才 
国家自然科学基金;广东省高教厅重点学科和广东省自然科学基金
本文研究了激光诱导化学气相沉积纳米氮化硅的制备工艺过程，提出了减少游离硅的措施，利用光学二步激励法制备得到了理想化学计量的高纯纳米氮化硅粉末，其Ｎ／Ｓｉ比高达１．３２１；非常接近于理想值４／３（１．３３３）．
关键词：激光诱导 化学气相沉积 氮化硅陶瓷 陶瓷粉末 
激光诱导化学气相沉积纳米硅的红外光谱被引量：1
《量子电子学》1996年第1期67-73,共7页王卫乡 刘颂豪 李道火 刘宗才 
广东省自然科学基金;广东省博士后基金
对激光化学气相沉积纳米硅的红外光谱进行了研究，结合红外光声光谱考察了退火处理对其红外光谱吸收峰位置的影响，对纳米硅的红外吸收峰进行了标识和讨论。
关键词：红外光谱 纳米硅 激光 化学气相沉积 
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